イオンビーム蒸着法によるダイヤモンド状炭素成膜の研究

研究業績

• 中森、吉田、鈴木：「負パルスバイアスを利用したイオンビーム蒸着法によって生 成したダイヤモンド状炭素膜の特性」電気学会論文誌Ａ, Vol.122-A, No.3 (2002) p.274 - 280

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