レーザーＰＶＤ法によるＤＬＣ成膜の研究
- 研究業績
- SUZUKI, TANIYAMA, NAKATA, MASUTANI: Synthesis Technique of Diamond-Like Carbon Films by Laser Ablation Ion Source in Atmosphere# Proc. Int. Soc. Opt. Eng. 36th Annual Symp. Vol.1759, Diamond Optics �� (1992) p.25 - 34
- 鈴木、角田、谷山、中田、升谷：「大気圧中レーザーＰＶＤ法によるダイヤモンド状炭素成膜の最適条件」レー ザー学会誌、Vol.22, No.5 (1994) p.393 - 401
- 相馬、鈴木、中田：「レーザーＰＶＤ法成膜時における水素プラズマエッチング効
果」電気学会 放電研究会資料、ED-00-20 (2000) p.43 - 48
- 須田、酒井、小野、鈴木：「プラズマ支援レーザアブレーション法による炭素微粒
子堆積ならびにその評価」電気学会 光・量子デバイス研究会資料、OQD-02-6 (2002.2)
p.27 - 32
- T.Ono, Y.Suda, M.Akazawa, Y.Sakai, K.Suzuki："Effects of Oxygen and
Substrate Temperature on Properties of Amorphous Carbon Films Fabricated by
Plasma-Assisted Pulsed Laser Deposition Method" Jpn. J. Appl. Phys., Vol.41,
No.7A (2002) p.4651 - 4654
- 工藤、鈴木：「レーザアブレーション法によるDLC太陽電池の創製 〜不純物ドープ
DLC薄膜の膜質評価〜」電気学会 光・量子デバイス研究会資料、OQD-03-12 (2003.2)
p.5 - 10
レーザPVDによるDLC成膜
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