集束イオンビームによるダイヤモンド状炭素・カーボンナノチューブ素子の創成

集束イオンビームによるダイヤモンド状炭素素子の創成

研究業績

• T. Kaneko, S. Kurumi, K. Suzuki :"Fabrication of Nanoscale Electrical Circuits on Diamond-Like Carbon Film by Scanning a Ga+ Focused Ion Beam" Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics, 7 (2012) 275-278

• 胡桃 聡、高原　裕介、大野　貴史、松田 健一、鈴木 薫:"イオン化蒸着法によるダイヤモンド状炭素の成膜と集束イオンビームによるデバイスの作製" 電気学会論文誌A, Vol.137, No.10, pp.584-589 (2017)

集束イオンビームによるカーボンナノチューブ素子の創成

研究業績

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