研究室紹介

光・プラズマプロセス工学研究室

光エレクトロニクス技術を用いた社会貢献を目指して

私たちの研究室では、レーザや集束イオンビームで新種のマイクロ/ナノデバイスの創製をしています。放電プラズマ現象を用いて高機能性デバイスやバイオマテリアルについて研究しています。

究極のマテリアル"カーボン" カーボンは結晶構造によって電気特性が多様に変化し、ダイヤモンドが絶縁体、グラファイトが導体とよく知られています。ダイヤモンドとグラファイトが混合したダイヤモンドライクカーボンとグラファイトが円筒状になったカーボンナノチューブを、集束イオンビーム装置によって微細加工して、カーボンナノ・マイクロ回路を創製しています。

さわれるプラズマ"フレッシュプラズマ" プラズマは低真空中で発生させることが一般的で、高い熱エネルギーを所持しますが、大気圧中で直接さわれるフレッシュプラズマ装置を作成しました。フレッシュプラズマをバイオマテリアルに照射して生体硬組織の重合やバイオフィルムの除去をしています。

ダイヤモンドライクカーボンのナノ・マイクロデバイス創製

ダイヤモンドライクカーボンのナノ・マイクロデバイス創製

フレッシュプラズマ装置

フレッシュプラズマ装置