ユニモルフ素子による炭酸ガスレーザーのパワー制御に関する研究

ユニモルフ素子は薄い真ちゅう円板の片面に圧電素子を圧着したもので、電圧の印加により凸面から凹面へ連続的に曲率半径を可変できるものである。これを鏡面研磨し、炭酸ガスレーザーの全反射ミラーに用いることで、レーザー出力の連続出力の制御やパルス出力の制御が可能になることを明らかにした。

ユニモルフ素子による炭酸ガスレーザー制御回路とレーザー出力波形


研究業績
左から、日刊工業新聞(昭和61年4月24日)・雑誌:日経メカニカル(昭和61年6月号)


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