ルビーレーザーによる半導体破壊の研究

シリコン系半導体にジャイアントパルスルビーレーザー光を照射し、熱破壊を行わせた時に発生する起電力を測定し、熱振動波形の観測とカスケード増倍による破壊機構の検討を行った。

実験装置と破壊したSi-Photo-Trの写真及び破壊時の波形


研究業績


ルビーレーザー装置:発振部(左写真)と電源部(右写真)

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