ガラス板マイクロレンズの炭酸ガスレーザー加工

ガラス板はアクリル板に比べて透過率が良く屈折率も高い、耐摩耗性や耐熱性・耐薬品性も良好であり古くから光学材料として利用されている。このガラス板に光損傷効果を生じさせれば、アクリル板よりも高屈折率差で微小なレンズ加工が可能となる。光損傷効果のしきい値は高く、耐衝撃性や内部応力に弱いため光破壊の可能性が高いため、光源には炭酸ガスレーザーのパルス光を用い予備加熱を行うなどの方法により単一・楕円・円錐台形・棒状・アレイレンズ等の加工に成功している。

ガラス板マイクロレンズ加工回路と単一・楕円・円錐台形・棒状・アレイレンズの干渉縞写真

研究業績

• 鈴木、谷山、升谷：「炭酸ガスレーザーによるガラス板微小レンズの加工」レーザー学会誌, Vol.14, No.10 (1986) p.880 - 888
• 鈴木、谷山、中田、升谷：「ガラス板マイクロレンズアレイのＣＯ２ レーザーによる加工」レーザー学会誌, Vol.15, No.2 (1987) p.113 - 119
• 鈴木、谷山、中田、升谷：「高屈折率ガラス板マイクロレンズのＣＯ２ レーザー加工」電気学会、電子材料，光　・量子デバイス研究会資料,EFM-87-36,OQD-87-78 (1987) p.55 - 63

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左から、日刊工業新聞(昭和６１年５月７日)・雑誌：エレクトロニクス(昭和６１年７月号)

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