アクリル板マイクロレンズのYAGレーザー加工

光ファイバーの結合や光の集光・結像・分岐などの光回路用素子として微小な平面レンズの必要性が増している。この目的に対し、誘電体に強力なレーザー光を照射したときに生じる屈折率の局部的な変化、すなわち光損傷効果によりレンズ加工を行う方法を考案した。光学材料として汎用なアクリル板を用い、加工光源には吸収係数の少ない波長域を発振するYAGレーザーを使用し、アクリル板内部に熱歪みを均一に与えている。従って、YAGレーザー光の照射方法を変えることにより単一・円錐台形・楕円・アレイレンズ等を短時間の内にマスクレスで加工できる長所を有している。

アクリル板マイクロレンズ加工回路と単一・円錐台形・楕円・アレイレンズの干渉縞写真

研究業績

• 鈴木、谷山、中田、升谷：「微小な平面レンズのレーザー加工」レーザー学会誌、Vol.12, No.10 (1984) 　p.568 - 575
• 関口、鈴木、谷山、中田、升谷：「微小な円錐台形平面レンズと楕円形平面レンズのレーザー加工」レーザー学　会誌〈レーザー研究〉Vol.13, No.4 (1985) p.347 - 352
• 鈴木、谷山、升谷：「レンズのレーザー加工における微小化と平面度の改善法について」レーザー学会誌, Vol.13, No.11 (1985) p.889 - 895
• 鈴木、谷山、中田、升谷：「微小平面レンズのレーザー加工における機械的変形」レーザー学会研究会資料，　RTM-84-29 (1985) PP.1-6
• 鈴木、関口、谷山、升谷：「スモールレンズアレイのレーザー加工」レーザー学会誌、Vol.14, No.4 (1986) p.290 - 300

---

左から、日刊工業新聞(昭和５９年４月１３日)・日大新聞(昭和６０年５月２０日)

元に戻る。