圧電素子によるレーザーエネルギー測定

高出力なレーザー光のエネルギー計測法として、従来はカロリーメータのように全エネルギーを吸収させていたが、計測素子の熔融や蒸発等の破壊が生じるなどの欠点があった。これに対して、吸収率の低い計測素子(例えば水晶等)を用いて高出力なYAGレーザーのパルス光を測定しながら透過させ、その透過光を利用してレーザー加工等が可能になる方法を開発した。

エネルギー計測素子の概略図と測定波形

研究業績

• 谷山、中田、升谷：「水晶振動子によるレーザーエネルギーの測定法」レーザー学会誌、Vol.11, No.5 (1983) 　p.349 - 355
• 谷山、鈴木、武中、中田、升谷：「ＹＡＧレーザーのエネルギー測定法　−水晶圧電素子による方法−」レーザ　ー学会誌、Vol.12, No.5 (1984) p.248 - 254
• 佐藤、小山、升谷：「LiTaO3単結晶を用いたレーザーエネルギー検出器」レーザー学会誌、Vol.13, No.3 (1985) p.305 - 311
• 谷山、白倉、鈴木、升谷：「レーザーエネルギー計測における水晶圧電素子の特性」レーザー学会誌, Vol.14, No.2 (1986) p.146 - 150

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